ルーツ真空ポンプの動作原理

ルーツ真空ポンプ同期して逆方向に回転する2つのブレード状ローターを備えた可変容量真空ポンプを指します。ローター間、ローターとポンプケーシング内壁の間にはわずかな隙間があり、互いに接触しません。ギャップは通常 0.1 ～ 0.8 mm です。オイル潤滑は必要ありません。ローターのプロファイルには、円弧線、インボリュート線、サイクロイドが含まれます。インボリュートロータポンプは体積利用率が高く、加工精度も確保しやすいため、ロータプロファイルはインボリュートタイプが多い。

の動作原理ルーツ真空ポンプルーツブロワーと同様です。ロータが継続的に回転することにより、ポンプで汲み上げられたガスは吸気口からロータとポンプシェルの間の空間v0に吸い込まれ、排気ポートから排出されます。 v0 空間は吸入後に完全に閉じられるため、ポンプ室内のガスは圧縮または膨張しません。しかし、ローターの上部が排気ポートの端の周りを回転し、v0 空間が排気側に接続されると、排気側のガス圧力が高くなるため、ガスの一部が v0 空間に勢いよく戻り、ガス圧が急激に上昇します。ローターが回転し続けると、ポンプからガスが排出されます。